上海光机所固体照明研究取得进展

6月30日，由中科院上海光机所研究员周常河承担的上海市国际合作项目——“利用集成电路工艺改进固体照明外效率的研究”通过了上海市科委的验收。

    该项目基于深刻蚀光栅的简化模式，在石英玻璃基板上，采用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺和激光全息技术，完成了一系列的高效率亚波长光栅器件的开发。如宽带1×2分束器、偏振无关1×3分束器等。测试报告显示，深度2微米左右，在1550纳米波段，效率高于91%，达到任务书要求。

    项目发展了光栅简化模式方法，这种方法不仅清晰地给出亚波长深刻蚀石英光栅的物理本质，而且可以进一步设计出一系列新型高效率光栅结构，有重要的理论指导价值。同时，鉴于项目成果可基于普通的石英玻璃基板，开发具有光谱范围宽、使用寿命长、不易霉变、稳定可靠、热稳定性好等优良偏振分光性能的亚波长光栅器件，科学理论上显示其有广泛的应用前景。

    在该项目在执行过程中，共申请发明专利7项，培养了硕士、博生研究生11名，在国内外重要刊物上发表了13篇论文。